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廣州潽拓光電科技有限公司

廣州潽拓光電公司-ULVAC愛(ài)發(fā)科分子泵技術(shù)升級(jí)

廣州潽拓光電科技有限公司

  • 主營(yíng)產(chǎn)品:分子泵控制器,真空分子泵,AE電源,真空油泵,真空系統(tǒng)
  • 公司地址:廣州市番禺區(qū)化龍鎮(zhèn)潭山環(huán)村公路1-1號(hào)
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廣州潽拓光電科技有限公司--ULVAC愛(ài)發(fā)科分子泵出售;


咱們平時(shí)總是說(shuō)這對(duì)情侶很般配,經(jīng)常用郎才女貌,天作之合來(lái)形容他們。其實(shí)世界萬(wàn)物也總是相伴而生,在真空的世界里,也有一對(duì)不離不棄的“超級(jí)情侶”。我們習(xí)慣稱這對(duì)超級(jí)伴侶為前級(jí)真空泵和高真空泵。前級(jí)泵必須滿足特定的抽氣速度和極限真空,并且可以持續(xù)的無(wú)故障長(zhǎng)時(shí)間運(yùn)行,高真空泵極限真空極高,只有分子泵才能有此能力。



低溫泵的結(jié)構(gòu)通過(guò)2段式實(shí)現(xiàn)高真空。冷頭有2段、1段冷頭有較大的冷凍能力,可冷卻至80K(卡爾文)以下。至此,主要是水分的排出,接下來(lái)2段冷頭進(jìn)一步冷卻,排出N2,O2,Ar,H2等分子,以獲得更高的真空。低溫泵的冷凍機(jī)為2段式,1段具有較大的制冷能力,可以冷卻至80K或更低,2段的制冷能力較小,可以冷卻至10至12K。15K擋板(1)(冷凝板)和15K擋板(2)(吸附板)安裝在冷凍機(jī)的2段上80K擋板和80K屏蔽桶安裝在制冷能力較大的1段上,防止受到室溫的熱(輻射)。另外,為了防止吸附劑表面被覆蓋,吸附劑被安裝在濃縮性氣體不能進(jìn)入的擋板的內(nèi)側(cè)。




選擇愛(ài)發(fā)科低溫泵的理由

愛(ài)發(fā)科低溫泵在LCD產(chǎn)業(yè)市占率100%、OLED產(chǎn)業(yè)市占率95%、在光學(xué)薄膜制造方面市占率85%。

愛(ài)發(fā)科低溫泵根據(jù)FPD、半導(dǎo)體、電子機(jī)器、光學(xué)、研究開(kāi)發(fā)等應(yīng)用領(lǐng)域的不同,從小型到大型有廣泛的產(chǎn)品陣容供您選擇。

愛(ài)發(fā)科設(shè)立了低溫泵開(kāi)發(fā)&制造基地,形成了完善的銷售和售后體系。



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用于氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的多為抽速60L/s左右的小型泵,對(duì)氦氣的壓縮比在1000左右。分子泵的抽速與動(dòng)葉輪的轉(zhuǎn)速有關(guān),只有動(dòng)葉輪的切向速度與氣體分子的熱運(yùn)動(dòng)速度相當(dāng)時(shí)才有抽氣能力,且抽速隨轉(zhuǎn)速而增,所以抽速在50~150L/s之間的小型分子泵的轉(zhuǎn)速通常達(dá)到90000~40000轉(zhuǎn)/分。分子泵的另一性能指標(biāo)是,壓縮比,所謂壓縮比是指分子泵的排氣口壓力與進(jìn)氣口壓力之比,壓縮比于轉(zhuǎn)速及分子量的關(guān)系是:



Kcxexp[GXu(M)17]式中:G為與葉輪幾何形狀有關(guān)的常數(shù);U為葉輪轉(zhuǎn)速;M為氣體的分子量??梢?jiàn)分子量大的氣體壓縮比大。氦質(zhì)譜檢漏儀中,逆擴(kuò)散檢漏正是利用分子泵對(duì)小分子量氦氣的低壓縮比,而且,還通過(guò)降低葉輪轉(zhuǎn)速,降低對(duì)He的壓縮比,從而提高對(duì)氦氣的響應(yīng)靈敏度。



改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵的轉(zhuǎn)速,分子泵的壓縮比會(huì)發(fā)生變化,分子泵的轉(zhuǎn)速由1500Hz改變?yōu)?000Hz,分子泵的壓縮比會(huì)變小,進(jìn)入質(zhì)譜室的氦分壓增加,檢漏儀檢測(cè)到氦信號(hào)會(huì)變大,試驗(yàn)中,檢漏儀在1000Hz下的信號(hào)是1500Hz信號(hào)的3.5倍,也就是說(shuō)分子泵在1500Hz的壓縮比;是1000Hz的3.5倍。

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用技術(shù)加持的渦輪分子泵可以滿足更為苛刻的工作環(huán)境要求,尤其是在需要更低振動(dòng)和靜音的應(yīng)用中,該系列渦輪分子泵可以大大提升用戶體驗(yàn)。采用這項(xiàng)技術(shù)的相關(guān)真空泵非常適合用于質(zhì)譜分析、電子顯微術(shù)、檢漏儀和殘余氣體分析系統(tǒng)等對(duì)振動(dòng)敏感的應(yīng)用。以電子顯微鏡為例:由于高真空法蘭的振動(dòng)很強(qiáng)烈(~20nm),導(dǎo)致高倍率下的圖像模糊不清;而集成了這款渦輪分子泵之后,振動(dòng)變得更低(~5nm),使電子顯微鏡能夠獲得更高分辨率的圖像。



電子顯微鏡的兩幅圖像對(duì)比:配備了渦輪分子泵(右)比未配備渦輪分子泵(左)時(shí)的圖像要更清晰

高度可靠的新型渦輪分子泵

除了應(yīng)用更先進(jìn)的技術(shù)之外,也承襲了真空渦輪分子泵安全、耐用、抗老化、重量輕、體積小巧等一系列優(yōu)點(diǎn)。



·在控溫方面,渦輪分子泵配備集成傳感器,集成的轉(zhuǎn)子溫度測(cè)量功能可確保始終發(fā)揮很佳性能,保障其很高運(yùn)行安全性。

·在軸承方面,的混合軸承由兩部分組成:前級(jí)真空側(cè)運(yùn)用耐溫高、轉(zhuǎn)速高且壽命長(zhǎng)的油潤(rùn)滑式陶瓷球軸承,而高真空側(cè)則使用靈活、抗壓強(qiáng)的永磁徑向軸承。堅(jiān)固耐用的軸承材料讓系列渦輪分子泵具備更高可靠性。


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